EUV : la Chine aurait quinze ans de retard, selon le patron de Zeiss
Le fournisseur des optiques d'ASML valide l'ordre de grandeur pour la lithographie extrême, tout en se montrant plus nuancé sur les machines DUV chinoises.
Photo : Laura Ockel / Unsplash
Combien de temps faudra-t-il à la Chine pour rattraper l'Occident dans la lithographie de pointe, la technologie qui grave les puces les plus avancées ? Frank Rohmund, PDG de Zeiss, a livré son estimation lors de la conférence SEMICON à Taiwan : une quinzaine d'années de retard sur les machines EUV.
La réponse mérite d'être prise au sérieux, parce qu'elle vient de l'un des rares acteurs à savoir précisément ce que cette technologie exige. Elle mérite aussi d'être lue avec la distance qui s'impose : Zeiss est partie prenante dans cette compétition.
Pourquoi l'avis de Zeiss compte plus que celui d'un observateur
Zeiss n'est pas un fabricant de machines de lithographie. L'entreprise allemande est le partenaire stratégique d'ASML, l'unique fournisseur mondial de machines EUV : elle conçoit et fabrique les systèmes optiques — lentilles et miroirs — sans lesquels ces équipements n'existeraient pas.
Cette division du travail explique le poids de la déclaration. La difficulté de l'EUV ne tient pas seulement à la source lumineuse, mais à l'optique qu'elle exige. Le rayonnement ultraviolet extrême est absorbé par le verre et par l'air : il ne peut être ni focalisé par des lentilles classiques, ni propagé dans l'atmosphère. Tout le trajet lumineux repose sur des miroirs, sous vide, polis à un degré de perfection dont ASML et Zeiss donnent une image devenue célèbre : un miroir dont les aspérités, ramenées à la taille d'un pays, se compteraient en fractions de millimètre.
Ce savoir-faire optique est concentré dans une poignée d'ateliers dans le monde. C'est probablement ce que Rohmund a en tête lorsqu'il évoque un horizon de quinze ans : ce n'est pas un problème que l'on résout en dépensant plus.
Ce qu'il a dit exactement, et ce qu'il n'a pas dit
Interrogé sur l'hypothèse d'un retard chinois de quinze ans en EUV, le dirigeant l'a qualifiée d'« hypothèse probablement raisonnable ». La formulation est prudente : il valide un ordre de grandeur, il ne produit pas une mesure.
« hypothèse probablement raisonnable »
— Frank Rohmund, PDG de Zeiss, cité par Clubic
Sur les machines DUV, moins avancées, son propos est différent et plus défensif. Il estime qu'il faut maintenant évaluer les capacités réelles des outils chinois, tout en se disant convaincu que les équipements occidentaux conservent une avance en performance, en productivité, en facilité d'usage et en qualité de service. Autrement dit : sur le DUV, il ne conteste pas que la Chine sache produire des machines, il conteste qu'elles soient à la hauteur.
EUV et DUV : deux marches très différentes
La distinction est essentielle pour comprendre la portée de ces déclarations. Le DUV, l'ultraviolet profond, est la technologie de génération précédente. Elle reste capable de produire des puces avancées, au prix de techniques de multi-exposition qui multiplient les passages et donc les coûts et les rebuts. La Chine développe actuellement ses premières machines DUV : c'est la marche qu'elle est en train de gravir.
L'EUV est la marche suivante, et elle est nettement plus haute. Une machine ASML de ce type coûte près de 400 millions de dollars l'unité, assemble des dizaines de milliers de pièces et mobilise une chaîne de sous-traitants répartie sur plusieurs continents. Elle n'est pas seulement difficile à concevoir : elle est difficile à fabriquer, à installer et à maintenir.
C'est le contexte des sanctions américaines, qui ont coupé l'accès chinois aux technologies d'ASML, qui donne à ce décalage sa dimension géopolitique. Privée d'importations, la Chine doit reconstruire seule une chaîne que l'Occident a mis trois décennies à assembler.
Les limites d'une estimation venant d'un concurrent
Il faut nommer le biais. Frank Rohmund dirige une entreprise dont la valeur repose précisément sur le fait que cette technologie soit inimitable. Un dirigeant de Zeiss annonçant que la Chine est à deux ans de le rattraper enverrait un signal désastreux à ses clients comme à ses actionnaires.
Cela ne signifie pas que l'estimation est fausse — l'expertise avancée est réelle, et le consensus des analystes du secteur va globalement dans le même sens. Cela signifie qu'il s'agit d'un avis d'acteur intéressé, formulé sur une scène publique, et non d'une évaluation indépendante. L'histoire récente des prévisions sur l'industrie chinoise des semi-conducteurs invite d'ailleurs à la prudence : plusieurs échéances jugées lointaines ont été atteintes plus tôt qu'annoncé, souvent au prix de rendements de production médiocres dont on n'a mesuré l'ampleur que bien après.
Source
Clubic — « Machine EUV : la Chine aurait encore 15 ans de retard d'après le patron de Zeiss »
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